中国宁波网讯 “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项，简称02专项，是国家中长期科技发展规划纲要提出的16个国家科技重大专项中的第二个。昨天，02专项第一行政责任人、上海市副市长沈晓明，02专项专职技术责任人、总体专家组组长、中科院微电子研究所所长叶甜春率20余名02专项实施管理办公室和专家组成员来到我市，检查指导02专项项目的实施。

　　这么多高级专家来到我市，是由于自去年以来我市已有5个项目(课题)被列为02专项，在浙江省内首屈一指。其中最近列入02专项的由宁波立立电子股份有限公司牵头承担的“200mm硅片研发与产业化及300mm硅片关键技术研究”项目，更是首个由我市企业牵头承担的国家科技重大专项项目，将获得科技经费资助1.078亿元，这也是迄今为止我市首个获国家科技经费支持上亿元的项目。另外，承担02专项子课题的有康强电子、江丰电子等企业，5个02专项的项目(课题)获得国家科技经费支持总额达1.8亿元。

　　“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项旨在打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况，带动相关产业的技术提升和结构调整，而200mm和300mm硅片是制造极大规模集成电路的基础材料，目前国内需要的这类硅片严重依赖进口。宁波立立电子作为我国硅材料领域的龙头企业之一，与浙江大学等单位合作开展“200mm硅片研发与产业化及300mm硅片关键技术研究”项目，就是为了打破垄断，满足我国微电子产业发展的重大需求。该项目总预算10.8亿元，目前已投入2.42亿元，其中200mm硅抛光片、外延片的产业化已初具规模。

　　江丰电子承担的超高纯金属及溅射靶材课题和康强电子承担的两个有关高密度蚀刻引线框架、先进封装用键合丝课题，也是02专项中重要的基础材料项目，企业投入不菲。其中康强电子承担的两个项目已基本完成，该公司负责人表示，通过02专项课题的实施，培养了一批优秀的研发人才，建成了完善的产业化生产线及生产管理系统，具备了规模化生产具有很强市场竞争力产品的条件，将成为公司新的强劲的经济增长点。

　　市委常委、副市长余红艺在昨天下午举行的汇报会上表示，能够牵头承担国家科技重大专项项目，并且是国拨经费上亿元的大项目，不仅是宁波的光荣，也是宁波的责任，更是促进产业升级的重大机遇。市政府将全力支持我市承担的国家科技重大专项的实施。

　　沈晓明、叶甜春等领导和专家在听取汇报后，对我市政府部门有效组织02专项项目的实施和项目承担单位的实施进展情况表示满意，希望进一步完善重大专项项目的组织管理体系，加强项目的知识产权保护，发挥产业联盟作用，加快专项成果产业化进程。

　　宁波日报记者 沈朝晖 通讯员 陈善福 张彩娜