图为立立电子生产线。（陈飞跃 摄）
近日，宁波立立电子股份有限公司副总经理吴能云向记者证实，继首批６２０１万元中央财政扶持资金之后，宁波保税区财政配套的３９３６万元扶持资金也已正式到位。
这些财政扶持资金，全部用于一个叫“２００ｍｍ硅片研发与产业化及３００ｍｍ硅片关键技术研究”的重大科技项目，这是“０２专项”——“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”的子项目。
由立立电子实施的这个“０２专项”子项目总投资超过１０．６亿元，其中中央财政将给予１．０７８亿元资金支持，地方财政按１：１进行配套补助。
这是迄今为止我市获得国家科技立项支持最大的一个项目，位于宁波保税区的立立电子也是“十一五”期间浙江省首个“０２专项”承担单位。
记者获悉，随着各级扶持资金的陆续到位，立立电子“０２专项”正加速推进，其中８英寸硅片已批量生产，另有多个８英寸抛光片和外延片已通过多家主流用户样品考核，进入了小批量销售阶段。
比肩探月工程
在不少人眼中，“０２专项”是个带着些许神秘色彩的名词。
“０２专项”来源于在国务院颁布的《国家中长期科学和技术发展规划纲要（２００６—２０２０）》。规划纲要列出了１６个重大科技专项，包括大飞机、载人航天与探月工程等，个个是事关国家中长期科技发展的战略性项目，其中“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”因为其编号为０２而被称为“０２专项”。
集成电路制造项目何以具有与探月工程同样重要的战略地位？
记者了解到，随着信息技术的发展，集成电路已经成为各行各业发展的基础性产业，但是长期以来，我国集成电路行业从制造工艺到装备，再到材料，都严重依赖进口，每年进口额高达１２００亿美元。不仅如此，还有不少装备由于国外禁运，想进口都不行。
在此背景下，作为国家战略的“０２专项”应运而生，其目标十分明确：通过自主创新，实现追赶和超越。
集成电路的产业链非常复杂，上下游工序分工非常细，如果按传统科技立项方式资助一两家企业，成功的概率很小。为此，“０２专项”采取了“大兵团作战”，在相关产业链上由１００多家企业、研究单位一起参与。
“０２专项”专家组负责人之一、中科院院士王曦预计，到２０２０年，我国集成电路制造装备工艺有望与国外发达国家站在同一水平线上，从而为我国在国际竞争中赢得了更多话语权。
在这场“大兵团作战”中，作为民营高科技企业的宁波立立电子领衔承担了子项目“２００ｍｍ硅片研发与产业化及３００ｍｍ硅片关键技术研究”。
民企领衔“０２专项”
立立电子是我国内地唯一具有硅单晶锭、硅抛光片、硅外延片、功率芯片的完整产业链的半导体企业，也是浙江大学硅材料国家重点实验室的产学研基地和国家８６３计划成果产业化基地，公司硅抛光片、硅外延片的产量分别占国内市场的２１．７％和１６．１％。
“我们拥有具有自主知识产权的掺氮直拉硅单晶成套技术及掺氮硅单晶抛光片衬底的成套加工技术。”吴能云说，立立电子在集成电路用硅片的生产制造方面较国内同行有比较明显的技术优势。
此次由立立电子牵头组织，浙江大学、河北普兴电子、南京国盛电子等三家单位参与，组成高规格的科技攻关项目，集中力量攻坚“２００ｍｍ硅片研发与产业化及３００ｍｍ硅片关键技术研究”项目。
去年４月，这个项目通过国务院“０２专项”办公室组织的最后一轮专家评审。当年１０月，项目通过财政部评审。立立电子成为浙江省首个“０２专项”项目承担单位。
据了解，该项目建设期５年，分二期建设，其中一期建设自２０１０年至２０１２年，投资４．８亿元，实现月销售８英寸硅抛光片、外延片各２万片；二期建设自２０１３年至２０１４年，计划投资６亿元，实现月销售８英寸硅抛光片、外延片各５万片。
“８英寸硅抛光片目前仍是深亚微米集成电路制造所用的主流材料，我国目前有十余条生产线，但是所需的硅抛光片都是来自Ｓｈｉｎ－Ｅｔｓｕ、Ｓｕｍｃｏ、Ｓｉｌｔｒｏｎｉｃ和ＭＥＭＣ等国际硅材料巨头。”吴能云说，实现８英寸硅抛光片的国产化，对提高我国硅材料和集成电路产业的国际竞争力具有重要意义。
明年迎接一期验收
今年９月９日，根据科技部、国家发改委、财政部三部门２０１１年度开展国家科技重大专项监督评估工作的有关精神和总体安排，国家科技重大专项“电子与信息板块”监督评估组组长、国家外国专家局原局长、国家科技重大专项专家咨询委员会主任马俊如等专家来甬，对宁波立立电子股份有限公司进行了实地考察。
监督评估组充分肯定了宁波保税区配套资金的快速到位和立立电子公司在“０２专项”实施过程中所做的工作和取得的成绩，认为项目推进有序，经费管理、执行情况较好；８英寸硅片已形成一定的规模，达到了计划目标的阶段要求。
“今年以来，公司‘０２专项’的各项工作都进展顺利。”吴能云告诉记者，目前立立电子的８英寸硅片产品已批量生产和销售，客户为国内主流８英寸代工厂商。
“我们３０％的产品销往美国、新加坡、日本、台湾等国家和地区，用户都是世界知名厂商。”吴能云说，明年底立立电子将迎来国家相关部门的一期验收，届时，公司８英寸抛光片和外延片将超过每月２万片的销售量。
据悉，未来三年内，浙江大学硅材料国家重点实验室将针对立立电子的研发与产业化目标，将８英寸硅片缺陷工程的研究成果应用于新型硅片的开发以及质量改进；立立电子则将致力于８英寸硅抛光片和外延片的研发及其大规模产业化，完善产品的规格。
在国家支持下，双方还将通过产学研合作，实现８英寸硅片的规模化生产，满足我国微电子产业的巨大需求。双方还将合作研发１２英寸硅片的产业化关键技术。
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