近日，记者在睿晶半导体有限公司展厅内看到，大屏上一条清晰的时间轴记录了这家初创企业的成长轨迹——从55纳米制程到22纳米制程，仅用不到3年时间，他们就实现了高端光掩模版的跨越式发展。

“制程更先进，产能在扩大。”该公司总经理祁耀亮说，原地扩建的新项目已开工，明年7月达产后，产能还会再上台阶。

光掩模版是载有集成电路设计的图形母版，相当于光刻工艺中复制芯片图形的“印相底片”，其精度和质量直接影响芯片的性能。

2022年，睿晶半导体作为浙江省首个集成电路光掩模版项目正式落户宁波，填补这一领域的产业空白。此后，该公司以“加速度”向前发展，产品迅速进入头部晶圆厂供应链，快速成为国内第三方光掩模版龙头企业。

睿晶半导体核心骨干从业年限普遍在15年至20年，已掌握180纳米至22纳米光掩模版研发制造工艺，实现量产，并具备先进工艺产品研发制造实力。

近年来，该公司通过建立高性价比、高响应度、短备货期等优势，满足国内成熟工艺客户需求，解决集成电路制造企业光掩模版一系列难题。

党的二十届四中全会审议通过的《中共中央关于制定国民经济和社会发展第十五个五年规划的建议》提出，提升产业链自主可控水平，强化产业基础再造和重大技术装备攻关，滚动实施制造业重点产业链高质量发展行动，发展先进制造业集群。

“我们的目标，就是致力于中高端光掩模版国产化，成为国内领先、国际一流的半导体光掩模版供应商。”祁耀亮说，下一步，将持续加大研发与扩产投入，推动公司提升更先进的节点研发和扩产能力。

在集成电路这条关键赛道上，宁波已集结起一大批追“芯”族。

“‘十五五’规划建议提出，要全链条推动集成电路等重点领域关键核心技术攻关取得决定性突破，这既是重大责任，也是巨大发展机遇。”宁波积硅电子材料有限公司董事长苏宏久说。

积硅电子材料成立于2023年，是由甬江实验室孵化的一家科技型企业，专注于超高纯芯片抛光磨料(即纳米氧化硅研磨材料)研发生产。

去年9月，该公司建设完成并一次性打通全流程投料生产线，已具备千吨级的超高纯纳米磨料年产能力，制备的纳米氧化硅磨料已通过国内半导体龙头企业的化学机械抛光验证。目前，该公司累计获融资4106万元，获得第十四届中国创新创业大赛宁波赛区新材料行业一等奖，发展前景可观。

“科技成果高效转化应用，这条路并不容易，但是必须试，也值得试。”苏宏久说。

爱芯元智半导体、江丰同芯、清纯半导体、中电化合物……目前，宁波正通过引进、培育一批优质企业，持续发力，不断填补集成电路产业的“空白”，让新质生产力在追“芯”路上加速壮大。

甬派客户端宁波日报记者成良田

编辑： 杨丹

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