宁网编前语

　　省委常委、市委书记彭佳学强调，要强化创新驱动加快发展壮大新质生产力，为“争一流、创样板、谱新篇”注入澎湃新动能。

　　企业作为经济发展的主体，是新质生产力形成的关键力量。3月17日起，宁波日报报网端推出新质生产力走“企”系列报道，探索在“新质生产力”“新型工业化”重塑产业赛道的背景下，宁波企业新技术、新产品、新模式加速破圈，赋予宁波经济前行动力背后的创新密码。

光掩模版。

　　中国宁波网记者 成良田 通讯员 房晓暾

　　“这里印着集成电路图形，晶圆厂用光刻机将电路图印制在晶圆上，从而得到芯片……”

　　会议室的落地窗前，睿晶半导体有限公司总经理祁耀亮举着一块光掩模版，指着一处小格子介绍。

　　记者睁大双眼，正要凑过去，试图一看究竟，被一句话打消了念头。

　　“别想真看到什么，如果能用肉眼看见，也就不是什么高科技了。”祁耀亮幽默地说。

　　光掩模版是载有集成电路设计的图形母版，相当于光刻工艺中复制芯片图形的“印相底片”，其精度和质量直接影响芯片的性能。

　　据国际半导体产业协会统计，光掩模版是需求量第二大的晶圆制造材料，仅次于硅片。

　　不过，这一关键核心主料，当前国内只有屈指可数的几家企业具备量产能力，但产能规模较低，且产品主要供应中低端市场。

　　“亟需加速实现光掩模版的国产替代，以及先进制程的突破。”祁耀亮说。

　　睿晶半导体正是这一关键产品的重要突破者。2022年中，该公司作为镇海集成电路制造产业园的首个启动项目，正式落户宁波。

　　此后，从厂房打桩，到设备安装，再到试产量产，前后仅用了383天。

　　“在中高端光掩模版这一领域，我们是最快实现量产的。”祁耀亮表示。

　　这是宁波速度、镇海效率的结果，也是睿晶半导体团队攻坚生产研发，持续提高生产效率的结果。

　　作为一家初创型科技企业，睿晶半导体的创业团队全部来自国际大厂，有着深厚的技术积累和丰富的行业经验。

睿晶半导体。

　　祁耀亮说，高端光掩模版企业，既要注重研发，又是高端制造，是科研和制造的结合。“你可以看到，我们厂房和晶圆厂很类似，虽然规模小一些，但内部洁净度要求很高，很多单体设备比晶圆厂还要复杂。”

　　“现在，我们不仅要做人无我有的事情，更重要的是如何做得更好，通过大模型和智能化实现技术升级，让产品成本更低，效率更高，质量更好。”祁耀亮表示。

　　好消息是，从55nm到180nm技术节点以上的光掩模版产品，睿晶半导体已经完成对客户量产出货，40nm产品的研发也已结束，进入客户导入验证阶段；同时预计很快将具备28nm量产能力。

　　据介绍，目前国内大部分商业化芯片产品中，40nm以上的产品超过80%，28nm以上的产品超过95%，随着40nm产品的研发和量产，以及具备28nm量产能力，明年睿晶的产品可以覆盖绝大部分市场。

　　“目前已完成多家国内12寸晶圆厂的验证并且已经进入量产。”祁耀亮说。

　　不过，虽然跻身中高端光掩模版行列，但对睿晶半导体而言，这只是刚刚起步。

　　祁耀亮表示，睿晶半导体连接着晶圆厂和芯片设计公司，在集成电路生态圈里，非常重要。接下来，将继续努力，把自己做精、做强、做大，最终打造成一家平台型企业，助力宁波乃至浙江半导体产业发展。

　　新闻多一点

　　集成电路，几乎是一切高科技产品及应用的核心，是智能时代“兵家必争”的产业。

　　方寸之间，大有天地。

　　可喜的是，在集成电路产业发展上，宁波“东风”正盛，“芯”火跃动。

　　宁波提出，围绕“集成电路材料、装备—集成电路设计—芯片制造—封装测试—行业应用”这条全产业链，聚力打造前湾新区、北仑、镇海及鄞州四大产业集聚区，朝着国家特色工艺集成电路产业基地加速前进。

　　睿晶半导体、江丰同芯、清纯半导体、中电化合物……目前，宁波正通过引进、培育一批优质企业，持续发力，不断填补集成电路产业的“空白”。

　　去年，宁波特色工艺集成电路产业链实现增加值123.27亿元，同比增长15%，增速喜人。

编辑： 应波

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