近日，在宁波晶钻科技股份有限公司的金刚石产业园内，一颗颗CVD单晶金刚石如期上线。其中，一颗单晶金刚石尺寸达到60毫米×60毫米，换算成半导体行业晶元单位3.35英寸。这不仅刷新了该企业的纪录，而且也是目前已知的全球尺寸最大的一颗人造单晶金刚石。

　　作为一家根植于宁波的民营企业，晶钻科技自2014年制备出第一颗CVD单晶金刚石以来，历经10余次技术迭代，已量产2英寸CVD单晶金刚石。2023年底，晶钻科技成功制备出3英寸CVD单晶金刚石，目前已批量化生产。

　　随着晶钻科技产品的再次升级，该企业向4英寸以上的单晶金刚石制备发起冲刺。

　　据悉，微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)作为行业公认的制备大尺寸、高品质单晶金刚石的最佳手段之一，目前主要有同质外延、异质外延两种技术路线。同质外延技术的优势在于其晶体质量高，但技术也极具挑战性。

　　“要做就做大的突破。”在晶钻科技董事长张军安看来，加快形成新质生产力，就是要加快实现“0到1”的颠覆性创新及“1到100”的稳定性提升，通过技术创新建立起自己的“护城河”。

　　在产品尺寸不断突破的同时，该企业的生产设备已扩充至1500台。这意味着，晶钻科技的大尺寸、高品质CVD单晶金刚石年产能已达200万克拉，约占全球总产能的18%，产能全球第一。

　　“这是晶钻科技向下游器件、装备延伸迈出的关键一步。”张军安说，作为自然界中最坚硬的物质之一，金刚石除了供应消费端，做成首饰、珠宝外，在芯片、微电子、量子通信、光学、超精密加工、高端医疗等工业领域也有着广泛应用，产业应用规模达到了万亿级。

　　尺寸、产能均已就位，下一步晶钻科技将加快与产业链上下游的创新联动。他们有信心成为全球第一家制备出4英寸同质外延单晶金刚石晶圆的企业。(甬派客户端宁波日报记者殷聪)

编辑： 杨丹

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