微纳平台科研人员正在调试设备。（成良田 李芮 摄）

　　昨天上午，异质异构集成前沿论坛上，甬江实验室微纳平台8英寸验证线通线。至此，该实验室正式建成国内领先、世界一流的全链条异质异构集成共享平台。

　　微纳平台占地12000平方米，其中洁净室面积6000平方米，已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条，配备165台（套）高端精密设备。

　　8英寸验证线的开通，“不仅是从‘6英寸’到‘8英寸’的尺寸升级，更是从‘概念验证’到‘工程验证’的能力跃迁。”甬江实验室主任崔平说，这标志着微纳平台体系化能力的正式形成。

　　半个多世纪以来，摩尔定律犹如一座灯塔，指引着半导体产业持续飞速发展。然而，随着晶体管尺寸逼近原子极限，传统“微缩”路径已难以为继，“异质异构集成技术”正是应对这一挑战的创新方案，也是实现半导体产业“变道超车”的战略抓手。

　　“这就像搭乐高，我们不再局限于用一种材料、一种工艺。”甬江实验室微纳平台技术负责人张瓦利作了个形象的比喻。

　　异质异构集成技术，不再执着于把所有功能都塞进一块芯片，而是让不同材料、不同功能的芯片“自由组合”，组成更强大、更高效的系统。

　　张瓦利说：“即便是28纳米级芯片，通过集成工艺，也能发挥出14纳米级芯片的性能。”

　　走进甬江实验室微纳平台，未来感、科技感顿时拉满。上百台高端精密设备“高冷”而神秘，穿着白色防护服的研发人员来回穿梭，仿佛进入了科幻电影里的场景。

　　目前，微纳平台已构建一个开放共享的基础设施、一个中立可信的赋能平台、一个链接产学研用的创新枢纽。“今后将与企业共同探索从中试走向量产的可行路径，为产业提供最需要、最关键的临门一脚。”

　　先进验证线，是团队拼出来的。“买设备不难，全链条布局、全链条调通，很难很难。”张瓦利说。

　　此次通线的验证线，覆盖材料外延、晶圆制造、芯片加工、封装测试、器件模块可靠性分析全链条。每一道工艺、每一个器件都要反复调试优化，然后实现全流程打通。

　　“单是化学剂抛光这一个工艺，我们调试就用了300片8寸晶圆，其间我们又进行了几十次实验设计，迭代了很多次器件设计，做了上千个工艺表征。”张瓦利说。

　　65人的科研团队，全身心扑在实验室，“死磕”验证线。

　　早上8点到实验室，晚上10点多离开。那几个月，不少人的平均工作时长接近14个小时，节假日也不例外……团队靠不懈努力，用一年时间，拼出“国内领先”。

　　崔平表示，集成电路是宁波重点布局的新兴产业、前沿产业和标志性产业。作为省市重大科创平台，甬江实验室必须以一流的设备、专业的人才，赋能每一位企业家、科学家、科创者，赋能宁波半导体产业高水平、高质量发展。

　　“微纳平台是实验室体系化建设的关键一环，去年6英寸研发线投入运行后，为产学研协同创新提供了有力支撑。今天8英寸验证线正式通线，更是宁波科技创新发展的大事。”甬江科创办常务副主任徐云说。

　　镇海区委书记、宁波石化区党工委书记林斌认为，8英寸验证线正式通线，不仅打破了“科学发现与工程转化”的壁垒，更以开放共享的中立姿态，成为产学研协同攻关的“硬核支撑”，必将为异质异构集成技术突破提供关键引擎，为宁波乃至全国集成电路产业高质量发展注入强劲动能。

　　宁波日报 甬派客户端 记者成良田 通讯员李芮

编辑： 陈捷

纠错：171964650@qq.com